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壓阻式壓力傳感器的工作原理

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  這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。 提到壓阻式傳感器,首先得講到它的原理——壓阻效應(yīng)。
 
  壓阻效應(yīng)是用來描述材料在受到機(jī)械式應(yīng)力下所產(chǎn)生的電阻變化。不同于壓電效應(yīng),壓阻效應(yīng)只產(chǎn)生阻抗變化,并不會(huì)產(chǎn)生電荷。
 
  原理圖如上,當(dāng)壓力變化時(shí),電阻R1,R2,R3,R4發(fā)生變化,從而引發(fā)加載在電阻中間的電壓發(fā)生變化,這種變化反映出壓力值。
 
  壓阻式傳感器又稱為擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器,被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測(cè)這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。